碳化硅厂设备
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碳化硅，第三代半导体时代的中国机会 - 新华网
2021年7月21日 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备两个千亿级产业，助力我国加快向高端材料、高端 2020年10月21日 2020-10-21 15:10 根据东方卫视报道，首片国产 6 英寸碳化硅 MOSFET（金属氧化物场效应晶体管） 晶圆 于 10 月 16 日在上海正式发布。 从终端应用层上来看在碳化硅材料在高铁、汽车电子、智能电网 首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备 ...2022年9月27日 碳化硅的切割和传统硅的切割方式相似，但因为碳化硅属于硬质材料（莫氏硬度达9.5，除金刚石以外世界上第二硬的材料），切割难度非常大，切一刀可能需几百个小时，对系统设备的稳定性很高，国内设 碳化硅产业链 SiC产业链包括上游的衬底和外延环节 ...
调研｜露笑科技布局碳化硅进展：首批50台长晶炉已 ...
2021年11月17日 “目前部分8英寸设备短缺，如高温等离子设备。叠加8寸厂需要1年半的订货周期，预计未来3年内8英寸和6英寸不会形成致命的竞争关系。”业内知名半导体产业人士坦言。 国内碳化硅功率晶圆产线方面，露 2023年5月21日 碳化硅器件生产各工艺环节关键设备. 由于SiC工艺的特殊性，传统用于Si基功率器件制备的设备已不能满足需求，需要增加一些专用的设备作为支撑，如材料制备中的碳化硅单晶生长炉、金刚线多线切割机设 造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？_工艺_碳化硅_中国未来，博世将向全球客户提供碳化硅功率半导体，产品形式可以是单个芯片，也可以内置在动力电子设备或电桥这类整体解决方案中。 得益于更高效的整体系统设计，把电机、逆变 提高标准行驶里程：博世开启碳化硅芯片大规模量产 ...
